F1012微流量传感器
产品型号 F1012
量程① 20、30、50、100、200、500、1000、1200、2000sccm②
最小 典型值 最大 单位
满量程输出 4.90 5.00 5.10 V
零流量输出 0.96 1.00 1.04 V
输出阻抗 - 200 - Ω
工作电压 7.0 10.0 14.0 V
工作电流 15 25 30 MA
精度 - ±1.5 ±2.5 %F.S
重复性 - ±0.3 ±0.5 %F.S
年漂移③ - ±0.1 ±0.5 %F.S
耐压④ - - 200 kPa
反应时间 45 50 55 ms
工作温度⑤ -25 - 65 ℃
储存温度 -40 - 90 ℃
数据资料