F2000系列MEMS皮拉尼真空传感器提供了一个突破性的真空测量方案。该传感器外形微小，同时又具有超低功耗，长寿命，低现场维护，和低成本的优点。 该加热元件（即测量电阻）是由一个置于一张隔热膜上的铂薄膜电阻构成。隔热膜悬覆在一个微加工的25祄深空腔上，空腔底部表面与隔热膜平行，以确保精密测量传热率。由于被测气体体积极小（即空腔容积小），能够提供超低的功耗和快速的响应时间。
传感器特点
超低功耗<5毫瓦
快速响应时间<5毫秒
耐冲击至1000g
可测量气体体积最低至0.1 cm3
低噪声
高分辨率
同一芯片上进行温度传感
长期稳定
可用溶剂浸泡清
主要应用
分析仪器
使用前级真空的封闭系统的检漏
半导体设备
真空包装机
便携式数字真空计
小型机械系统（如泵）以达到规定的真空度
低成本真空开关来验证1托以下的真空度
技术指标
工作温度：-40 °C至125°C (可提供更高温度型号)
湿度：0到100%RH，非冷凝
耐冲击性：1000g
超压：27.5Bar
数据资料