范围（+/-10%） 56 um
长度 40 um
尺寸 7 x 7 mm
容量（+/-20%） 4.5 uF
质量 15 g
阻塞力 1400 N
刚度 51 N/um
纳米定位、显微镜、精密加工、振动控制、液压泵、阀门和光学