范围（+/-10%） 28 um
长度 20 um
尺寸 7 x 7 mm
容量（+/-20%） 2.2 uF
质量 7.5 g
阻塞力 1400 N
刚度 102 N/um
纳米定位、显微镜、精密加工、振动控制、液压泵、阀门和光学