范围（+/-10%） 56 um
长度 40 um
尺寸 5 x 5 mm
容量（+/-20%） 2.1 uF
质量 8.1 g
阻塞力 700 N
刚度 28 N/um
纳米定位、显微镜、精密加工、振动控制、液压泵、阀门和光学