范围（+/-10%） 28 um
长度 20 um
尺寸 5 x 5 mm
容量（+/-20%） 900 nF
质量 4.3 g
阻塞力 700 N
刚度 60 N/um
纳米定位、显微镜、精密加工、振动控制、液压泵、阀门和光学