范围(+/-10%) 70um
长度 42mm
横截面 7x7mm
容量(+/-20%) 10uF
质量 15g
阻塞力 1800N
刚度 51N/um
恢复频率 36kHz
纳米定位、显微镜、精密加工、振动控制、液压泵、阀门和光学