范围(+/-10%) 14um
长度 10mm
横截面 5x5mm
容量(+/-20%) 630nF
质量 2.0g
阻塞力 900N
刚度 108N/um
恢复频率 150kHz
纳米定位、显微镜、精密加工、振动控制、液压泵、阀门和光学