范围(+/-10%) 25um
长度 18mm
横截面 3x3mm
容量(+/-20%) 500nF
质量 2.0g
阻塞力 330N
刚度 18N/um
恢复频率 83kHz
纳米定位、显微镜、精密加工、振动控制、液压泵、阀门和光学