范围(+/-10%) 14um
长度 10mm
横截面 3x3mm
容量(+/-20%) 300nF
质量 1.1g
阻塞力 330N
刚度 33N/um
恢复频率 150kHz
纳米定位、显微镜、精密加工、振动控制、液压泵、阀门和光学