范围(+/-10%) 5.6um
长度 5mm
横截面 3x3mm
容量(+/-20%) 140nF
质量 0.53g
阻塞力 330N
刚度 80N/um
恢复频率 300kHz
纳米定位、显微镜、精密加工、振动控制、液压泵、阀门和光学