位移:>830 um
电压:-15V至+150V
单极显示:>750 um
共振:230赫兹
力:90 N
刚度:0.12 N/um
电容:8.3 uf
质量:60 g
纳米定位、生物医学、显微镜、精密加工、振动控制、高速阀门和光学