位移:>340 um
电压:-15V至+150V
单极显示:>310 um
共振:460赫兹
力:16 N
刚度:0.052 N/um
电容:780 nF
质量:8g
纳米定位、生物医学、显微镜、精密加工、振动控制、高速阀门和光学