位移:>350 um
电压:-15V至+150V
单极显示:>320 um
共振:400赫兹
力:6 N
刚度:0.019 N/um
电容:900 nF
质量:7 g
纳米定位、生物医学、显微镜、精密加工、振动控制、高速阀门和光学