位移:>120 um
电压:-15V至+150V
单极显示:>110 um
共振:900赫兹
力:11 N
刚度:0.10 N/um
电容:400 nF
质量:5 g
纳米定位、生物医学、显微镜、精密加工、振动控制、高速阀门和光学